论洁净室温湿度精准控制的重要性
洁净室是指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。由于精密机械工业、半导体工业等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。
相对湿度是衡量洁净室等级标准的条件参数之一。实际上,一些应用指定的偏差仅为1%RH,这是由于从物理/化学观点上相对湿度对材料加工和存储上的影响。
细菌和其他生物污染(霉菌,病毒,真菌,螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃繁殖,甚至有一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。将洁净室的相对湿度控制在40%至60%的范围之间,有效地控制细菌和其他生物的增长,降低其带来的影响。
除了抑制各种微生物的生长,温湿度的控制在一定程度上可以防止各种化学反应或改变反应速度,譬如腐蚀,将随着相对湿度的增高而加快。相对湿度在50%时易生锈,相反,有些金属,例如铝,可以与水形成一层保护型的氧化物,但并不是好事,因为有可能阻止进一步的氧化反应,影响效率。
洁净室的发展与现代工业、尖端技术密切联系在一起。湿度的控制也不是越低越好。当相对湿度小于30%时,静电荷可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。较低的湿度容易造成电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。当相对湿度超过50%时,静电荷开始迅速消散。高湿度实际上减小了静电荷积累,这是人们希望的结果。
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。湿度过高会使人觉得气闷,而湿度低于30%RH则会让人感觉干燥,皮肤皲裂,呼吸道不适以及情感上的不快。
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