为什么无尘车间／洁净室一定要用除湿机加湿机

为什么无尘车间／洁净室一定要用除湿机加湿机

　　近年，在我们的各行业里都对空气的相对湿度有严格的规定，使我们必需在无尘车间配置除湿机、加湿机。但是为什么值得花费这么多钱用在无尘车间、洁净室中控制相对湿度呢？道理很简单！让我们先来了解下什么叫无尘车间：

　　无尘车间指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

　　湿度控制是无尘车间生产必需具备的重要条件，相对湿度是无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。

　　因为相对湿度有一系列可能使洁净室总体表现下降的因素，其中包括：

　　1、细菌生长；

　　2、工作人员感到室温舒适的范围；

　　3、出现静电荷；

　　4、金属腐蚀；

　　5、水汽冷凝；

　　6、光刻的退化；

　　7、吸水性。

　　细菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。在相对湿度处于40%至60%的范围之间时，可以使细菌的影响以及呼吸道感染降至最低。相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤破裂，呼吸道不适以及情感上的不快。

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